Excimer（准分子） 是 “excited dimer”（受激发的原子）的缩写。 它主要包括一个原子对，其中一个是受激发的气体原子，该气体原子在基本状态下通常不发生结合（Xe + Xe* = Xe2* (Excimer)）。
准分子可以通过惰性气体以及惰性气体和卤素的混合物生成。准分子状态的持续时间很短。准分子在分解过程中激发出很窄的、类似准单色光谱范围的紫外光。视所选气体的不同，可以产生各种窄带紫外线光谱，而且主要是单一的光谱线。
现在已经有许多不同的准分子组合，可以生成波长范围在 120nm和 380nm 之间的紫外光。因这种光谱不包括任何红外线成分，因此准分子灯仅提供单纯的紫外线光谱。
气体放电由高频电磁场产生。 因此在放电时不需要电极。
