Excimer es la abreviatura de "excited dimer" (dímero excitado). Se trata fundamentalmente de un par atómico con un átomo gaseoso excitado, que en su estado básico normalmente no está ligado (Xe + Xe* = Xe2* (Excimer)).
Los excímeros pueden originarse por gases nobles y mezcla de gas noble/halógenos. El estado excímero tiene poca duración. Durante el proceso de descomposición del excímero se emite radiación UV, en una zona espectral muy estrecha, casi monocromática. Dependiendo del gas elegido se originan diferentes espectros UV de banda estrecha, predominantemente en una única línea espectral.
Actualmente hay muchas combinaciones diferentes de excímeros, que pueden generar radiación UV en la gama de longitud de onda entre 120 nm y 380 nm. Como el espectro no tiene componente infrarrojo, estas lámparas emiten el espectro UV puro.
La descarga de gas es causada por un campo electromagnético de alta frecuencia. Por esto no se necesitan electrodos en la descarga de gas.
