Excimer ist die Abkürzung von „excited dimer“ (angeregter Dimer). Dabei handelt es sich im wesentlichen um ein Atompaar mit einem angeregten Gasatom, das in seinem Grundzustand normalerweise unverbunden ist (Xe + Xe* = Xe2* (Excimer)).
Excimer können durch Edelgase und Edelgas/Halogen-Gemische entstehen. Der Excimerzustand ist dabei nur von kurzer Dauer. Beim Zerfallprozess der Excimer wird UV-Strahlung, in einem sehr engen, quasi monochromatischen Spektralbereich, emittiert. In Abhängigkeit des ausgewählten Gases entstehen so verschiedene schmalbandige UV-Spektren - überwiegend in einer einzigen Spektrallinie.
Heute gibt es viele verschiedene Excimer-Kombinationen, die UV-Strahlung im Wellenlängenbereich zwischen 120 nm und 380 nm erzeugen können. Da das Spektrum keinen Infrarot-Bestandteil hat, liefern diese Lampen das reine UV-Spektrum.
Die Gasentladung wird durch ein elektromagnetisches Hochfrequenzfeld hervorgerufen. Deshalb werden auch keine Elektroden bei der Gasentladung benötigt.
